某半导体技术厂在工作阶段中选择硝酸铵系定影液,行成高有机肥料废气浓度含NOx污废水 ,日清理量50吨。污废水 中含NO2-高至2000mg/L,且含轻微有机肥料光刻胶部分,清理困难程度极大。
2. 化工废水组分及的来源
成像生产工序残液(常见严重室外空气污染物)
晶圆清晰化工废水
有机废气物干洗塔排水口
3. 治理 施工工艺程序流程
主要包括"一级阳极氧化+两极生物制品治疗"去创新工艺技术:
嗅氧氧化反应
:进行老化的存在器存在O3,将难化学降解有机会物被分解转换成为小碳原子物品,一同将NO2-氧化的为NO3-。
生物学膜症状器(MBR)
:
一号级:缺氧症状区域下污泥脱水甲醇最为碳源,有利于促进反反硝化细菌体现
第五级:好氧生物制品膜进十步可降解可挥发物
电催化淬硬层操作
:适用钛基涂覆探针,采用电解法效果徹底拆解残留物污染破坏物。
4. 终结的效果
NOx总氮低于8mg/L下面
COD稳定可靠在30mg/L三岁
废污水回收利用率达60%
设备程序运行能耗管理在3.5kWh/吨水,较传统型工艺技术节约能源20%。