该晶圆制做厂应用于苏北地方,关键生产加工销售84英寸半导体芯片晶圆,单日焦化废水排出量约800吨。基于生产加工销售历程中动用大批量盐酸使用晶圆蚀刻,引起焦化废池里氟化物酸度达到了200-300mg/L,远超国度排出规范(10mg/L下列)。
化工废水的成分及特征
废水处理注意存在5个缓解:
晶圆蚀刻制作工艺
:含高密度氟化物(HF)、氯化铵及小量高价属
化学反应物理打磨(CMP)废水处理工艺
:含nm级硅颗粒状、有机会络合剂
的设备难以清理工业废水
:含异丙醇、氧化还原电位等有机会物
进行处理加工环节
采用了"物理石雕文化沉淀物+沥青混凝土石雕文化沉淀物+淬硬层滤过"三级分销办理软件:
一級治理
:加药氯化钙和氢氧化的钙,组成氟化钙悠长岁月中,氟化物取除率达85%
特殊外理
:增添PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除固体态环境废弃物
四级清理
:确认多有机溶剂过滤程序器和吸咐性炭吸咐,溢水氟化物有机废气浓度固定在8mg/L一下
重点机还有:pH自动化调试系统化、斜管凝固池、板框压泥机(污水脱干)。
最中的效果
该项目启用五年期监测信息信息呈现:
氟化物月均酸度:7.2mg/L(底于祖国标准)
COD除掉率:92%
污泥干化含水分率:≤65%
年收回氟化钙副服务约150吨,变现环境秸秆综合通过通过