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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆工作线配建的超注射用水系统软件,没天形成含硅化工业废水150吨。化工业废水内虽无高价属,但硅的含量高易积垢,且电阻功率率需达标18MΩ·cm能够回收。原来的外理工学艺尚未能够满足新实施的《电商化工业水水污染废气尾气排放标准标》(GB39731-2020)有点废气尾气排放标准最大限度。 焦化废水部分优点 主要是被污染的物 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒状硅(孔径0.1-1μm) 特有想要 :TOC<10μg/L,硼水分含量<5μg/L 土质性能指标 :低导电率(<50μS/cm)但硅类化合物形式较为复杂 正确处理工艺设备的流程 什么是创新利用"梯级膜破乳+电去亚铁离子"組合加工: 微滤预解决 :1μm淘瓷膜拦阻大顆粒硅,通量达到80LMH 亚铁离子互转环氧树脂 :D201大孔硅胶粘合剂选用性物理吸附硅酸原子 二级考试RO系统软件 :最段回收并率60%,2.段进行高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 :直流电溶解度2A/m²,不间断除掉残渣化合物 紫外光杀菌的 :254nm紫外光线服用量40mJ/cm² 水平不足之处 开发建设特用阻硅剂(有机会胺类包覆物),减慢膜污染问题时间是3倍 EDI功能去创新流道开发,硅洗去率提拔至99.8% 高清在线硅介绍仪(量测空间0.1-500μg/L)构建精淮调整 作业取得的成绩 经3方测试: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼水平从8μg/L降下来0.3μg/L 控制系统收回率从原40%增加至68% 膜拆换寿命提高至5年,年行驶成本预算削减35%

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