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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业心片手工加工生产厂在晶圆加工生产过程中中,用到硅烷做出硅概念繁殖,排放洗滌塔显示容液值含硅污水操作。污水操作更具pH震荡大(2-11)、硅分量高的优点和缺点,传统性操作做法易显示硅垢空气能管道堵塞状况。 污废水 物质及源头 废渣一般营养成分为: 降解性硅酸盐 :SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 盐酸/氢钝化钠 :洗洁塔酸性洗洁液残存 粉末硅 :nm级SiO₂固体 痕量砷 :辅料硫氰酸盐携带 外理艺方法 科技创新用到"有级结合+膜过滤清洁+多效蒸发结晶体"生产工艺: 考试内容一级采和 :用CaO调接pH至4-5,产生硅酸钙乳浊液,硅彻底清除率60%。 中级采和 :加Na₂CO₃将pH提高了至9,进一点积累累计硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜平台 :0.02μm瓷器膜净化奈米级硅粉末,通量不稳在80LMH。 MVR蒸发掉器 :精浓高盐污废水 ,沉淀出Na₂SO₄副类产品,水中水回用率超90%。 最后郊果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L一些 砷含铁从0.8mg/L减至0.01mg/L 软件无水垢执行不低于2年 几乎每年的回收利用硫酸钠钠硫化锌约800吨

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