某半导体行业心片手工加工生产厂在晶圆加工生产过程中中,用到硅烷做出硅概念繁殖,排放洗滌塔显示容液值含硅污水操作。污水操作更具pH震荡大(2-11)、硅分量高的优点和缺点,传统性操作做法易显示硅垢空气能管道堵塞状况。
污废水 物质及源头
废渣一般营养成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L
盐酸/氢钝化钠
:洗洁塔酸性洗洁液残存
粉末硅
:nm级SiO₂固体
痕量砷
:辅料硫氰酸盐携带
外理艺方法
科技创新用到"有级结合+膜过滤清洁+多效蒸发结晶体"生产工艺:
考试内容一级采和
:用CaO调接pH至4-5,产生硅酸钙乳浊液,硅彻底清除率60%。
中级采和
:加Na₂CO₃将pH提高了至9,进一点积累累计硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜平台
:0.02μm瓷器膜净化奈米级硅粉末,通量不稳在80LMH。
MVR蒸发掉器
:精浓高盐污废水 ,沉淀出Na₂SO₄副类产品,水中水回用率超90%。
最后郊果
总硅从1500mg/L减少为5mg/L一些
砷含铁从0.8mg/L减至0.01mg/L
软件无水垢执行不低于2年
几乎每年的回收利用硫酸钠钠硫化锌约800吨